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五十嵐 龍志 Tatsushi Igarashi

2021.02.23掲載

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写真:五十嵐 龍志
  • ウシオ電機株式会社 事業統括本部 インキュベーション センター 最高技術顧問:日本
  • Executive Technical Advisor, Care 222nm Project, Business Management Head Quarters, Ushio Inc.: Japan

プロフィール

産業用光源およびその装置メーカであるウシオ電機株式会社で、長年、常務執行役員開発本部長、CTOを務め、多くの光源の開発を行って来た。半導体露光光源、プロジェクター用光源、シネマ用光源そして半導体用エキシマランプ等である。

ランプのみではなく、レーザ、EUV等の開発も、各社とジョイントベンチャーにて、行って来た。コマツ製作所とのジョイントベンチャーカンパニーであるGigaphotonで開発担当取締役として、ArFエキシマレーザの開発、Philipsとのジョイントベンチャーカンパニーである、ドイツXTREME 社でCEOとして半導体EUV光源を研究、開発してきた。 2014年からFellowとして新規開拓を行い、2015年から222nm プロジェクトリーダとして222nmの事業化のための研究、開発を行い、2019年から現職。



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